ICS 77. 150. 99 H66 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 10118—2009 代替GB/T10118—1988 高纯镓 High purity gallium 2009-10-30发布 2010-06-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 10118—2009 前言 本标准代替GB/T10118—1988《高纯镓》。 本标准与GB/T10118—1988相比，主要有如下变动： 增加了检出杂质元素的种类； 降低了原标准中检出杂质元素的含量； 引人了MBE级牌号高纯； 一 一对原标准的试验方法进行了修改，增加了辉光质谱法等 本标准的附录A为资料性附录。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口 本标准负责起草单位：国瑞电子材料有限责任公司 本标准参加起草单位：南京金美镓业有限公司。 本标准主要起草人：于洪国、邢志国。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： GB/T10118—1988。 GB/T 10118—2009 高絲 纯 1范围 本标准规定了高纯镓的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及订货单（或合同）内 容等。 本标准适用于以纯度不小于99.99%的工业镓为原料，经电解精炼、拉制单晶或其他提纯工艺制得 的纯度不小于99.9999%的镓。产品供制备化合物半导体材料和高纯合金。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有 的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 YS/T474ICP-MS分析法测定高纯镓中的痕量元素 3要求 3.1产品分类 产品按纯度分为Ga-06、Ga-07、MBE级三个牌号： Ga-06：表示镓含量不小于99.9999%的高纯镓； Ga-07：表示含量不小于99.99999%的高纯； MBE级：表示镓含量大于99.999999%的高纯。 3.2化学成分 产品的化学成分应符合下列各表的规定： 表1高纯镓Ga-06化学成分 化学成分（质量分数）/% 牌号 Ga 杂质含量/（×10-6），不大于 不小于 Fe Si Pb Zn Sn Mg Cu Mn 总和 Cr Ni Ga-06 666666 3 3 3 2 3 100 3 3 3 注1：表中镓百分含量为100%减去表中所列杂质含量（质量分数）的总和； 注2：表中未列的其他杂质元素，可由供需双方协商确定。 表2高纯镓Ga-07化学成分 化学成分（质量分数）/% 牌号 Ga 杂质含量/（X10-6），不大于 不小于 Fe Si Mg Cu Mn Ca 总和 Pb Zn Sn Cr Ni Na Ga-07 99.99999 0.5 0.5 0. 5 0.5 0.5 0.5 0.2 0.3 0.5 0.5 0.5 0.5 10 注1：表中镓百分含量为100%减去表中所列杂质含量（质量分数）的总和； 注2：表中未列的其他杂质元素，可由供需双方协商确定。 GB/T10118—2009 表3MBE级高纯化学成分 牌号 化学成分（质量分数）/% Ga大于 杂质含量 MBE级 99.999999 除了基体Ga和离子源Ta，其他检出杂质元素的含量都低于GDMS分析的检测极限 3.3外观质量 产品呈银白色，块状，结晶致密，无氧化色斑 4试验方法 4.1Ga-06牌号高纯镓的化学成分分析按YS/T474的规定进行。 4.2Ga-07与MBE级牌号高纯的化学成分分析按GDMS法，参照附录A进行。 5检验规则 5.1检查和验收 5.1.1产品由供方技术监督部门进行检验，保证产品符合本标准的规定，并填写质量保证书 5.1.2需方可对收到的产品进行检验，如检验结果与本标准规定的不符合时，在收到产品之日起三个 月内向供方提出，双方协商解决。 SAG 5.2组批 产品应成批提交验收，每批应由同一牌号、同一生产方法的产品组成。连续生产的企业每批总量不 超过1000kg，间断生产的企业每批总量不超过100kg。 5.3取样 取样应由供需双方共同进行。 5.4检验结果的判定 化学成分和外观质量检验不合格时，则判定该批产品为不合格。 6标志、包装、运输、贮存 6.1标志 在检验合格产品瓶上应附有标签，注明：供方名称、产品名称、批号、牌号、出厂日期和“勿倒置”字样 或标志。每箱外应注明：供方名称、产品名称、产品批号、并有“防潮”、“防晒”字样或标志。 6.2包装 产品装入洁净处理过的非极性塑料瓶中，每瓶净重不超过2kg，冷凝成固体，经充高纯情性气体或 真空封装后，置于泡沫盒中，最后装人包装箱内。包装方法和每瓶重量也可按供需双方协商确认的结果 进行。 6.3运输 产品在运输过程中应防止潮湿，不得倒置和碰撞 6.4贮存 产品应存放于清洁、干燥和无酸、碱气氛之处。环境温度为低温或室温。 6.5质量说明书 每批产品应附有质量说明书，注明： a）供方名称； b）产品名称； c） 产品批号、牌号； 2 GB/T10118—2009 d) 各项分析检验结果及检验部门印记； e) 本标准编号； f) 生产日期。 订货单（或合同）内容 本标准所列产品的订货单（或合同），应至少包括以下内容： a) 产品名称； b) 牌号； c) 重量； d) 本标准编号； e) 其他。